Спектроскопический эллипсометр Accurion RSE

Accurion RSE — передовой прибор для быстрого и точного анализа тонких пленок и поверхностей

В современной микроэлектронике, полупроводниковой промышленности, оптоэлектронике и нанотехнологиях точное измерение толщины и оптических свойств тонких пленок является критически важным этапом контроля качества. На рынке высокоточного измерительного оборудования особое место занимает Referenced Spectroscopic Ellipsometer (RSE) от компании Accurion, представленный в портфолио Park Systems — мирового лидера в области атомно-силовой микроскопии и прецизионных измерений.

Прибор Accurion RSE представляет собой инновационный спектроскопический эллипсометр референсного типа, разработанный специально для быстрого и бесконтактного анализа тонких пленок в промышленных условиях. Он сочетает в себе высокую скорость, исключительную точность и простоту интеграции в производственные линии, что делает его идеальным решением для контроля качества на этапах R&D и серийного производства.

Уникальный принцип работы — референсный эллипсометр

В отличие от традиционных спектроскопических эллипсометров, RSE использует референсный метод измерения, что позволяет значительно повысить скорость и стабильность результатов. Вместо сложной настройки оптики и длительной калибровки система сравнивает отражённый свет от образца с опорным сигналом в реальном времени. Это обеспечивает устойчивость к внешним вибрациям и температурным колебаниям, что особенно важно в условиях промышленного цеха.

Такой подход позволяет проводить измерения без необходимости в сложной подготовке образцов и обеспечивает воспроизводимость результатов даже при массовом контроле.

Технические характеристики Accurion RSE

• Диапазон измеряемых толщин: от 0,1 нм до 10 мкм
• Скорость измерения: до 200 полных спектров в секунду
• Спектральный диапазон: 450–1000 нм (видимый и ближний ИК)
• Точность измерения толщины: до ±0,1 нм (для ультратонких пленок)
• Размер сканируемой области: до 100 мм × 100 мм
• Время сканирования площади 100×100 мм: всего 12 минут
• Количество зарегистрированных спектров за одно сканирование: до 67 000
• Разрешение по XY: до 10 мкм (в зависимости от конфигурации)
• Тип измерения: бесконтактный, неразрушающий
• Интерфейс: интуитивная ПО-платформа с поддержкой автоматизации и интеграции в MES/SCADA системы
• Применение: подходит для прозрачных, полупрозрачных и отражающих покрытий (SiO₂, SiN, полимеры, металлы и др.)

Преимущества RSE в промышленности

1. Высокая скорость анализа
Скорость в 200 измерений в секунду позволяет проводить быстрое картирование толщины по всей поверхности пластины. Это особенно ценно на этапах контроля качества в производстве полупроводников, ЖК-панелей и солнечных элементов.

2. Точность на наноуровне
Возможность измерять слои толщиной от одного монослоя атомов (0,1 нм) делает RSE незаменимым в разработке новых материалов, в том числе 2D-материалов, антиотражающих покрытий и многослойных наноструктур.

3. Простота интеграции и эксплуатации
Прибор легко интегрируется в автоматизированные линии. Программное обеспечение позволяет настраивать шаблоны измерений, сохранять протоколы и проводить статистический анализ данных в режиме онлайн.

4. Надёжность и устойчивость
Благодаря референсной оптической схеме RSE не требует частой перекалибровки и устойчив к внешним помехам, что снижает простои и затраты на обслуживание.

Области применения

• Полупроводниковая промышленность — контроль диэлектрических слоёв (SiO₂, Si₃N₄)
• Производство дисплеев и сенсоров — измерение ITO и других прозрачных проводящих оксидов
• Солнечная энергетика — анализ антиотражающих и пассивирующих покрытий
• Фармацевтика и биотехнологии — исследование тонкоплёночных биосенсоров
• Научные исследования — разработка новых функциональных покрытий и наноматериалов

Почему стоит выбрать Accurion RSE?

Если вашему предприятию необходим надёжный, быстрый и точный инструмент для контроля тонких пленок, Accurion RSE — это оптимальное решение. Это не просто лабораторный прибор, а промышленное измерительное решение, сочетающее передовые технологии эллипсометрии с требованиями современного производства.

Park Systems, как официальный партнёр и поставщик, обеспечивает полную техническую поддержку, обучение персонала и гарантию качества. Инвестируя в RSE, вы получаете не только оборудование, но и конкурентное преимущество за счёт повышения качества продукции и сокращения брака.