EP4: Спектроскопический эллипсометр нового поколения для микро- и наноанализа

Accurion EP4: передовой эллипсометр для наноточных измерений толщины и оптических свойств

В современных научных исследованиях, микроэлектронике, оптоэлектронике и нанотехнологиях критически важна точность измерения толщины тонких пленок и их оптических характеристик. На рынке высокоточного аналитического оборудования Park Systems представляет Accurion EP4 — передовую систему спектроскопического эллипсометра, объединяющую в себе возможности эллипсометрии и микроскопии для беспрецедентно точного анализа микро- и наноструктур.

Уникальный подход: эллипсометрия + микроскопия

В отличие от традиционных точечных эллипсометров, которые измеряют только отдельные участки образца, Accurion EP4 осуществляет одновременное измерение всех структур в поле зрения. Это обеспечивает не только высокую скорость анализа, но и полное пространственное картирование поверхности. Комбинируя эллипсометрию и оптическую микроскопию, прибор позволяет визуализировать и количественно оценивать тонкие пленки, многослойные структуры и микрорельеф с разрешением до 1 мкм.

Особенностью EP4 является эллипсометрический контраст в режиме реального времени. Эта функция позволяет оператору мгновенно обнаруживать субнанометровые изменения на поверхности, выявлять дефекты, неоднородности и области интереса, а затем проводить детальный анализ выбранных зон.

Технические характеристики Accurion EP4

• Метод измерения: Имиджинговая спектроскопическая эллипсометрия (imaging spectroscopic ellipsometry)
• Пространственное разрешение: до 1 мкм
• Диапазон измерения толщины: от 0,1 нм до 10 мкм
• Точность измерения толщины: до 0,1 нм
• Измеряемые параметры: толщина пленки, показатель преломления (n), коэффициент поглощения (k)
• Тип изображения: 2D и 3D карты толщины и оптических свойств
• Поле зрения (FOV): до 1,3 × 1,0 мм (в зависимости от объектива)
• Источник света: галогеновая лампа с непрерывным спектром (400–1000 нм)
• Детектор: высокочувствительная ПЗС-камера
• Режим работы: live-view с эллипсометрическим контрастом
• Программное обеспечение: интуитивный интерфейс для анализа, обработки данных и построения 3D-моделей
• Дополнительные опции: термостатируемый столик, контролируемая атмосфера (в том числе влажность, инертная среда), автоматизированная подача образцов

Применение в промышленности и науке

Accurion EP4 незаменим в следующих областях:

• Полупроводниковая промышленность: контроль диэлектрических и проводящих слоев, анализ литографических структур
• Оптоэлектроника: исследование OLED, перовскитных солнечных элементов, антиотражающих покрытий
• Биомедицинские исследования: анализ биопленок, белковых слоев, сенсоров на основе SPR
• Нанотехнологии: изучение графена, 2D-материалов, нанокомпозитов
• R&D лаборатории: разработка новых материалов с заданными оптическими свойствами

Преимущества для бизнеса и исследований

Установка Accurion EP4 на вашем предприятии или в научной лаборатории — это инвестиция в точность, скорость и надежность. Прибор сокращает время анализа, минимизирует ошибки и обеспечивает воспроизводимость результатов. Благодаря расширенным опциям (например, измерения при различных температурах или в контролируемой среде), EP4 подходит как для фундаментальных исследований, так и для внедрения в производственные линии контроля качества.

Accurion EP4 от Park Systems — это эталон современной эллипсометрии. Высокое разрешение, широкий диапазон измерений, интуитивное ПО и гибкие конфигурации делают его идеальным решением для ведущих научных центров и высокотехнологичных производств. Если вам нужен прибор, способный «увидеть» субнанометровые изменения и построить точную 3D-модель оптических свойств поверхности, — Accurion EP4 станет вашим ключом к инновациям.

Получите консультацию специалиста и подберите оптимальную конфигурацию Accurion EP4 под ваши задачи уже сегодня.