Компактный 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп S lynx

Конструкция S lynx невероятно компактна, со встроенной сенсорной головкой и контроллером, что приводит к небольшому размеру. Таким образом, получается прочная, надежная и универсальная система, которую легко установить. Виброизоляционные прокладки придают системе высокую устойчивость — в большинстве случаев виброизолирующий стол не требуется.

Он был разработан как универсальная система. S lynx может измерять различные текстуры, структуры, шероховатость и волнистость на различных поверхностях. Универсальность S lynx делает его подходящим для широкого спектра высококлассных приложений для измерения поверхности. 

Особенности и преимущества

• Компактный 3D-профилировщик поверхности
• LCD
  
• конфокальный
• интерферометрия
• Изменение фокуса
• Наиболее подходящие области применения включают микропроизводство, микропалеонтологию, производство часов.

Важные детали

• Конфокальный

Конфокальные профилометры были разработаны для измерения гладких и очень шероховатых поверхностей. Конфокальное профилирование обеспечивает самое высокое латеральное разрешение, которое может быть достигнуто с помощью оптического профилировщика. Таким образом, пространственная дискретизация может быть уменьшена до 0,01 мкм, что идеально подходит для измерений критических размеров. Доступны объективы с высокой числовой апертурой (0,95) и увеличением (150X) для измерения гладких поверхностей с крутыми локальными уклонами более 70° (для шероховатых поверхностей до 86°). Запатентованные конфокальные алгоритмы обеспечивают уникальную вертикальную повторяемость в нанометровом масштабе.

• Интерферометрия
  

Интерферометрия с вертикальным сканированием в белом свете (VSI) — это широко используемый и мощный метод измерения характеристик поверхности, таких как топография или структура прозрачной пленки. Он лучше всего подходит для измерения гладких и умеренно шероховатых поверхностей и обеспечивает нанометровое разрешение по вертикали независимо от числовой апертуры объектива или увеличения.

• Изменение фокуса
  

Изменение фокуса — это оптическая технология, разработанная для измерения формы больших шероховатых поверхностей. Эта технология основана на обширном опыте компании Sensofar в области комбинированных конфокальных и интерферометрических 3D-измерений и специально разработана для дополнения конфокальных измерений при малом увеличении. К преимуществам технологии относятся поверхности с большим наклоном (до 86°), самые высокие скорости измерения (мм/с) и большой диапазон по вертикали. Эта комбинация измерительных возможностей в основном используется для инструментов.

• Адаптивная колонка
  

Компания Sensofar разработала 4-позиционную стойку, которая позволяет регулировать высоту до 150 мм. Гибкие параметры предназначены для устранения ограничений между образцами разной высоты.