Аналитическое, исследовательское, испытательное оборудование
+375 (29) 132-55-65
+375 (17) 360-55-65

Сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения Regulus SU8200

Описание

В сканирующих электронных микроскопах серии Regulus SU8200, японской компании Hitachi High-Technologies удалось разработать и применить революционную технологию «холодного» катода. В микроскопах сверхвысокого разрешения SU8200 установлена новая электронная пушка с холодной полевой эмиссией, которая значительно увеличивает качество изображения и производительность. Это происходит благодаря тому что у новой пушки значительно выросли характеристики испускаемого луча. Лучшая пушка в классе сканирующих микроскопов стала ещё лучше.

Сканирующие элетронные микроскопы (СЭМ) или как ещё говорят растровые микроскопы, используются широко в различных областях включая полупроводники, электронику, биотехнологии. В разработке новых передовых материалов где всё чаще используется углерод и полимеры. В разработке катализаторов, топливных элементов, в фундаментальных исследованиях. Везде в этих сферах нужны расширенные возможности СЭМ. Потому что только на низких напряжениях возможна работа с объектами которые повреждаются электронным лучом и кроме этого нужен хороший элементный анализ при таких напряжениях

Всё это стало возможно при появлении новой инновационной пушки в новой серии СЭМ микроскопов SU8200. Запатентованная технология «мягкого мигания» и новая вакуумная система позволяют свести к минимуму осаждение молекул газа на наконечнике эмиттера. Эмиттер электронов всегда работает в «чистых» условиях, что приводит к улучшению тока эмиссии и повышению стабильности пучка. Результатом этих улучшений является идеальный источник электронов, с высоким соотношением сигнал, шум, с высокой стабильностью и выдающейся разрешающей способностью при низких ускорениях. Благодаря таким параметрам открываются новые возможности для проведения элементного микроанализа на низких напряжениях. Линейка микроскопов SU8200 поддерживает большое количество кремниевых дрейфовых детекторов (SDD), в том числе так называемые «без оконные» детекторы у которых чувствительность в несколько раз выше, такие детекторы позволяют поводить элементный анализ, там где это раньше никогда не делали и обеспечивают высокое пространственное разрешение, сверх высокую чувствительность и высокую скорость обнаружения рентгеновских лучей.

Обновления SU8200 включают также новую систему фильтрации для верхнего детектора, которая повышает дифференциацию обнаружения электронов. Теперь тонкая настройка контраста достигается за счет выборочной фильтрации неупругого рассеяния электронов и прямого обнаружения обратно рассеянных электронов с определенной энергией. Эта избирательная фильтрация особенно эффективна для улучшения контраста материала при низких напряжениях ускорения. Дополнительные системы по контролю вибрации предметного столика и камеры, а также оптимизация оптической системы позволяют достичь высокое разрешению при низких ускорениях: 0,8 нм при 15 кВ и 1,1 нм при 1 кВ. Серия SU8200 включает три модели (SU8220, SU8230 и SU8240), предлагающие различные конфигурации столика, камеры и детектора для широкого круга задач.

Технические характеристики

SU8220SU8230SU8240
Разрешение вторичного электронного изображения * 10,8 нм (Vacc 15 кВ, WD = 4 мм, увеличение 270,000x)
1,1 нм (напряжение посадки 1 кВ, WD = 1,5 мм, увеличение 200,000x) * 2
Посадочное напряжение0,01 ~ 30 кВ
Увеличение20 ~ 1 000 000x * 3
Сценический контроль5-ступенчатый привод5-ступенчатый привод5-ступенчатый привод
Regulus® stage * 4
Диапазон ходаИкс0 ~ 50 мм0 ~ 110 мм0 ~ 110 мм
Y0 ~ 50 мм0 ~ 110 мм0 ~ 80 мм
р360 °
Z1,5 ~ 30 мм1,5 ~ 40 мм1,5 ~ 40 мм
Т-5 ~ 70 °
Сценическое воспроизведение± 0,5 мкм или меньше